W artykule przedstawiono porównanie metod pomiaru nanotopografii o największej pionowej rozdzielczości, w których wykorzystuje się takie urządzenia, jak mikroskopy sondy skanującej, interferometry i profilometry. Rozwój technologiczny wymusza w metrologii konieczność pomiaru chropowatości o wysokościach mieszczących się w skali nano. Coraz częściej potrzebne jest uzyskanie nie tylko parametrów 2D, ale także obrazu powierzchni.

TematykaTechnika

AutorzyPraca zbiorowa

WydawnictwoWydawnictwo Politechniki Poznańskiej

Rok wydania2007